Neuer Reinraumtrakt an der TU übergeben

Heute hat Sachsens Finanz-Staatssekretär Dr. Wolfgang Voß den Neubau eines Reinraumtraktes an die TU Dresden übergeben. In dem Neubau werden künftig Wissenschaftler und Studierende des Instituts für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik sowie anderer Institute arbeiten. Nach knapp zwei Jahren Bauzeit haben die verschiedenen ingenieur- und naturwissenschaftlichen Institute nun eine zentrale sowie hochmoderne Forschungseinrichtung auf dem Dresdner Campus.

Staatssekretär Voß und der Abteilungsleiter Hochschulen im Sächsischen Staatsministerium für Wissenschaft und Kunst, Dr. Ronald Werner, hoben den Stellenwert dieser Wissenschaftszweige für den Wirtschafts- und Wissenschaftsstandort Dresden hervor. Voß: „Die Mikroelektronik hat eine enorme Bedeutung für Dresden und ist eng mit der Technischen Universität verbunden. Umso wichtiger ist es, dass sich dies in hervorragenden baulichen und räumlichen Bedingungen widerspiegelt. Nun verfügen die Institute über Reinst- und Reinräume, die allen Anforderungen entsprechen.“ Staatssekretär Voß dankte ausdrücklich den Planern, Architekten und Bauleuten sowie dem Staatsbetrieb SIB mit seiner Niederlassung Dresden II, für die geleistete Arbeit. „Ein solches Gebäude zu errichten, ist eine hochkomplexe Aufgabe für erfahrene Spezialisten“, so Voß anlässlich der Übergabefeier.

Freistaat und Bund haben hier insgesamt 8,1 Millionen Euro investiert. Der Bau begann im Juni 2004. Beteiligt waren insgesamt 34 Firmen, von denen 26 Firmen aus Sachsen kommen.
Reinraumgebäude stellen hohe Anforderungen an die Gebäudetechnik. So waren unter anderem Räume zu bauen, in denen maximal 10 Partikel pro Kubikfuß (cft) Raumluft enthalten sein dürfen. Das entspricht rund 330 Partikeln je Kubikmeter. Zum Vergleich: Die gängige Chip-Produktion findet in Reinräumen statt, in denen maximal etwa 3.300 Partikel je Kubikmeter enthalten sein dürfen und Stadtluft enthält oft das Millionenfache an Partikeln, als in den neuen Reinsträumen der TU erlaubt sind. Außerdem war zu beachten, dass bestimmte Technologien nicht durch Schwingungen des Gebäudes beeinträchtigt werden dürfen.

Das Gebäude hat eine Hauptnutzfläche von rund 410 Quadratmetern, von denen allein 396 Quadratmeter auf den Reinraum entfallen. Insgesamt wurden hier rund 1.200 Kubikmeter Stahlbeton verbaut. Die „Außenhaut“ besteht aus einer 1.700 Quadratmeter Aluminium-Kassettenfassade, die den technologischen Charakter des Baus versinnbild-licht.